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壓阻式壓力傳感器的工作原理及特點
壓阻式壓力傳感器的工作原理及特點
工作原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。
采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。
當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
特點
精度高、工作可靠、頻率響應高、遲滯小、尺寸小、重量輕、結構簡單;
便于實現顯示數字化;
可以測量壓力,稍加改變,還可以測量差壓、高度、速度、加速度等參數。
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